技術分析:微機電系統(MEMS)之介紹
摘要
近半世紀以來,微電子從粗糙的單一電晶體到集有數百萬顆電晶體的微電腦晶片,人類已經享受到它所帶給我們的無窮的方便與樂趣。如今,微電子產品幾乎無孔不入地影響到生活的每一個面向,而這不過是把電子這一部份縮小而已。若也能同樣把機械與光學部份縮小,是否會為我們的生活帶來另一波的衝擊?微機電系統(MEMS)的科技就是這種能縮小機械、光學,且能感受聲、光、電、磁、味、冷、熱以及運動的系統科技,將是廿一世紀重要的產業科技,是智慧型高單價的產業技術。
近半世紀以來,微電子從粗糙的單一電晶體到集有數百萬顆電晶體的微電腦晶片,人類已經享受到它所帶給我們的無窮的方便與樂趣。如今,微電子產品幾乎無孔不入地影響到生活的每一個面向,而這不過是把電子這一部份縮小而已。若也能同樣把機械與光學部份縮小,是否會為我們的生活帶來另一波的衝擊?微機電系統(MEMS)的科技就是這種能縮小機械、光學,且能感受聲、光、電、磁、味、冷、熱以及運動的系統科技,將是廿一世紀重要的產業科技,是智慧型高單價的產業技術。
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