中國半導體製造設備自主化發展動態
摘要
為實現「國產替代」,中國半導體製造商積極擴產,惟國產替代能否成功,關鍵仍在製造設備是否能自主化。本篇報告主要在分析現階段中國半導體製造設備商的發展動態,以及中國在黃光、沉積、蝕刻、研磨、清洗、離子植入等六大製程設備的自主化情況。
為實現「國產替代」,中國半導體製造商積極擴產,惟國產替代能否成功,關鍵仍在製造設備是否能自主化。本篇報告主要在分析現階段中國半導體製造設備商的發展動態,以及中國在黃光、沉積、蝕刻、研磨、清洗、離子植入等六大製程設備的自主化情況。
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