技術分析-觸控面板上游材料-ITO導電玻璃技術發展概況
摘要
ITO (Indium Tin Oxide,氧化銦錫)薄膜是於1969年由日本大阪工業技術研究所的勝部氏開發出來。ITO薄膜在可見光的範圍內具有高透光度、低阻抗及導電性佳的優點,而且因其產品特性可以高速傳輸訊號、容易patterning加工,在蝕刻的製程中易於操作並蝕刻成任何所需之電極型態,與其他製程材料有良好的匹配性及耐用性,可以製作成大面積且材質均一的產品,成膜後不需再經過加工及烘烤製程,因此可以大量的節省時間與成本,並可廣泛應用。