2010-05-12 拓墣產業研究院

2009～2010年浸潤式曝光機台(Immersion Scanner)安裝數

圖表資料 IC製造與封測

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摘要

根據ASML 2010年第一季交貨情形來看，ArF Immersion共出貨17台，之外仍有高達89%缺交訂單，其中受缺交訂單影響最深以記憶體廠75%居於首位，其次為IDM廠14%，最後為Foundry廠11%。幾年前Tier 1(Samsung)及Tier 2(Hynix、Elpida及Micron)廠商幾乎擁有相同製程微縮的能力，不管是晶粒微縮或新製程的推進；但在經歷2008年金融危機後，大部份記憶體廠商陷入高負債比，進而影響製程技術升級的進度，導致記憶體廠間製程能力差距加大。

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